تعداد نشریات | 44 |
تعداد شمارهها | 1,303 |
تعداد مقالات | 16,020 |
تعداد مشاهده مقاله | 52,489,229 |
تعداد دریافت فایل اصل مقاله | 15,216,892 |
انسداد میدان الکتریکی جانبی از نواحی درین و سورس جهت بهبود اثرات کانال کوتاه در افزاره Nano-SOI | ||
مجله مهندسی برق دانشگاه تبریز | ||
مقاله 5، دوره 48، شماره 3 - شماره پیاپی 85، آذر 1397، صفحه 991-998 اصل مقاله (543.14 K) | ||
نویسنده | ||
محمدکاظم انوری فرد* | ||
دانشکده فنی و مهندسی شرق گیلان - دانشگاه گیلان - رودسر | ||
چکیده | ||
در این مقاله روشی جدید برای بهبود اثرات کانال کوتاه بدون پیچیدگی در فرآیند ساخت افزارههای سیلیسیم روی عایق در مقیاس نانو ارائه شده است. فکر اساسی در این مقاله تحقق اکسید U شکل با استفاده از ماده Si3N4 در داخل اکسید مدفون و ناحیه کانال است. مسیر میدان الکتریکی جانبی از سمت درین و سورس پس از برخورد به اکسید تعبیه شده منحرف شده و مقدار کمتری از خطوط میدان الکتریکی توانایی کافی برای عبور از اکسید و رسیدن به ناحیه کانال را پیدا میکنند. افزایش رسانش مؤثر حرارتی ساختار پیشنهادی توانایی مضاعفی به ساختار جدید جهت کار در دماهای بالاتر میدهد. مقایسه ساختار ارائه شده با افزاره مرسوم نشان میدهد که پارامترهای مهمی همچون اثرات کانال کوتاه، دمای شبکه، میدان الکتریکی، تحرک پذیری الکترون، کندوکتانس درین و جریان نشتی بهطور موثری بهبود یافته است که نمایانگر برتری ساختار پیشنهادی است. ساختارهای تحت مطالعه در این مقاله با استفاده از نرمافزار ATLAS که خود یکی از محصولات تجاری SILVACO است شبیهسازی شده است. | ||
کلیدواژهها | ||
مقیاس نانو؛ نیتراید سیلیسیم؛ اثرات کانال کوتاه؛ میدان الکتریکی | ||
مراجع | ||
[1] J.P. Colinge, Silicon-on-insulator Technology: Materials to VLSI, third ed., Kluwer Academic Publishers, 2004. [2] E. Arnold, Silicon-on-insulator devices for high voltage and power IC applications, J. Electro Chem. Soc. vol. 141, no. 7, pp. 1983-1988, 1994. [3] H. Aghababa, B. Ebrahimi, M. Saremi, V. Moalemi, B. Forouzandeh, G4-FET modeling for circuit simulation by adaptive neuro-fuzzy training systems, IEICE Electron. vol. 9, no. 10, pp. 881-887, 2012. [4] S. Rajabi, M. Saremi, H. J. Barnaby, A. Edwards, M. N. Kozicki, M. Mitkova, D. Mahalanabis, Y. Gonsalez-Velo, A. Mahmud, Static impedance behavior of programmable metallization cells, Solid State Electron. vol. 106, pp. 27-33, 2015. [5] Mohammad K. Anvarifard, Increase in the scattering of electric field lines in a new high voltage SOI MESFET, Superlattices Microstruct. vol. 97, pp. 15-27, 2016. [6] J. Ervin, A. Balijepalli, P. Joshi, V. Kushner, J. Yang, T.J. Thornton, CMOS compatible SOI MESFETs with high breakdown voltage, IEEE Trans. Electron Devices, vol. 53, pp. 3129–3135, 2006. [7] J. Ervin, A. Balijepalli, P. Joshi, V. Kushner, J. Yang, T.J. Thornton, CMOS compatible SOI MESFETs with high breakdown voltage, IEEE Trans. Electron Devices, vol. 53, pp. 3129–3135, 2006. [8] M. Rahimian, Ali A. Orouji, A novel nanoscale MOSFET with modified buried layer for improving of AC performance and self-heating effect, Mater. Sci. Semicond. Process. vol. 15, pp. 445–454, 2012. [9] M. Jagadesh Kumar, Anurag Chaudhry, Two-Dimensional Analytical Modeling of Fully Depleted DMG SOI MOSFET and Evidence for Diminished SCEs, IEEE Trans. Electron Dev. vol. 51, pp. 569-574, 2004. [10] W. Long, H. Ou, J.-M. Kuo, and K. K. Chin, Dual material gate (DMG) field effect transistor, IEEE Trans. Electron Devices, vol. 46, pp. 865–870, 1999. [11] Mohammad K. Anvarifard, Ali A. Orouji, Voltage difference engineering in SOI MOSFETs: A novel side gate device with improved electrical performance, Materials Science in Semiconductor Processing, vol. 16, pp. 1672-1678, 2013. [12] M. Zareiee, A novel high performance nano-scale MOSFET by inserting Si3N4 layer in the channel, Superlattices and Microstructures, vol. 88, pp. 254-261, 2015. [13] H. Shahnazarisani, S. Mohammadi, Simulation analysis of a novel fully depleted SOI MOSFET: Electrical and thermal performance improvement through trapezoidally doped channel and silicon–nitride buried insulator, Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures, Vol. 69, pp. 27-33, 2015 [14] مهسا مهراد، میثم زارعی، «ارائه ساختار نوین ترانزیستور اثر میدان سیلیسیم روی عایق دو گیتی با پنجره اکسید در درین گسترده شده بهمنظور کاربرد در تکنولوژی نانو»، مجله مهندسی برق دانشگاه تبریز، جلد 47، شماره 2، صفحات 80-86، 1396. [15] حامد نجفعلی زاده، علی لصغر اروجی، « طراحی ساختاری از ترانزیستور ماسفت دوگیتی با به کارگیری دو ماده، اکسید هافنیوم HFO2 و سیلیسیم ژرمانیوم SiGe در کانالی از جنس سیلیسیم DM-DG»، جلد 47، شماره 1، صفحات 79-84، 1396. [16] ATLAS User’s Manual: 2-D Device Simulator, SILVACO International, Santa Clara, CA, USA, 2012. [17] J. Chen, J. Luo, Q. Wu, Z. Chai, T. Yu, Y. Dong, and X. Wang, A tunnel diode body contact structure to suppress the floating-body effect in partially depleted SOI MOSFETs, IEEE Electron Device Lett., vol. 32, no. 10, pp. 1346–1348, 2011. | ||
آمار تعداد مشاهده مقاله: 421 تعداد دریافت فایل اصل مقاله: 466 |