آمار
| تعداد نشریات | 45 |
| تعداد شماره‌ها | 1,388 |
| تعداد مقالات | 17,001 |
| تعداد مشاهده مقاله | 54,714,488 |
| تعداد دریافت فایل اصل مقاله | 17,265,048 |
توسعه یک میکروسکوپ میکرو فوتولومینسانس برای شناسایی میکروال ای دی های معیوب در فرآیند ساخت | ||
| مجله مهندسی برق دانشگاه تبریز | ||
| مقالات آماده انتشار، اصلاح شده برای چاپ، انتشار آنلاین از تاریخ 30 مهر 1403 | ||
| نوع مقاله: علمی-پژوهشی | ||
| شناسه دیجیتال (DOI): 10.22034/tjee.2024.61975.4858 | ||
| نویسنده | ||
| محمد هندیجانی فرد* | ||
| دانشگاه شیراز | ||
| چکیده | ||
| میکروسکوپ میکرو فوتولومینسانس با استفاده از لیزرهای تحریک موج پیوسته 405 نانومتر ساخته شده است. در این پژوهش از میکرو ال ای دی های آبی رنگ به عنوان هدف فوتولومینسانس استفاده شده است. این میکرو ال ای دی ها نور فوتولومینسانس را در طول موج 450 نانومتر ساطع می‌کنند. زمانی که چاه های کوانتومی میکرو ال ای دی ها به درستی کار نکنند، آنها نور فوتولومینسانس ساتع نمی‌کنند و در زیر میکروسکوپ میکروفوتولومینسانس تاریک به نظر می‌رسند. در این پژوهش همچنین نشان داده شده است که با استفاده از میکروسکوپ میکرو فوتولومینسانس می‌توان میکرو ال ای دی های خراب را بر روی ویفر و پیش از تست الکتریکی و در حین فرآیند ساخت تشخیص داد. شناسایی زودهنگام میکرو ال ای دی های خراب برای جلوگیری از ادامه تولید و کاهش زمان ساخت برای ال ای دی های معیوب می تواند منجر به کاهش هزینه تولید بشود. با استفاده از آنالیز داده ها همچنین نشان داده شده است که برخی عیوب پنهان موجود بر روی ال ای دی ها هم قابل مشاهده می باشد. این عیوب در حالت عادی ممکن است از چشم مسلح به همراه میکروسکوپ معمولی نیز پنهان بماند. کیفیت میکرو ال ای دی های هر ویفر نیز به کمک این روش قابل تشخیص و مقایسه می باشد. به عنوان مثال میکرو ال ای دی های بر روی یک تصویر مورد تحلیل قرار گرفتند و مقایسه شده اند. | ||
| کلیدواژه‌ها | ||
| تشخیص زودهنگام ال ای دی های معیوب؛ میکرو ال ای دی آبی؛ میکروفوتولومینسانس | ||
| مراجع | ||
|
| ||
|
آمار تعداد مشاهده مقاله: 115 |
||