تعداد نشریات | 41 |
تعداد شمارهها | 1,127 |
تعداد مقالات | 13,860 |
تعداد مشاهده مقاله | 48,815,919 |
تعداد دریافت فایل اصل مقاله | 12,572,781 |
1. | ارتقاء نانومتری صافی سطح ساچمه های سیلیکون نیتراید (Si3N4) با استفاده از پرداختکاری شیمیایی- مکانیکی (CMP) | |
دوره 50، شماره 2، مرداد 1399، صفحه 253-260 | ||
مهرداد وحدتی؛ سیدعادل عاملی کلخوران | ||